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扫描电镜 SEM和能谱仪ESAX的使用技巧

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培训受众:

电镜操作工程师 电子工艺工程师 品质工程师 管理工程师 质检人员

课程收益:

学会扫描电镜和能谱仪的实操

培训颁发证书:

中国赛宝实验室可靠性研究分析中心

课程大纲:

课程内容提纲
第一部分:扫描电镜
第一章、扫描电镜
1.1 慨论
1.2扫描电镜原理
1.3扫描电镜结构
1.4扫描电镜的分辨力
1.5扫描电镜图像的形成
第二章、高分辨扫描电子显微镜
2.1 场发射扫描电子显微镜
2.2 SE和BSE之差做为信号的方式
2.3 工作距离
2.4 使用强磁物镜的方式
第三章、扫描电子显微镜的实践
3.1 扫描电子显微镜的操作
3.2 扫描电子显微镜图像的毛病
3.3 扫描电子显微镜的保养
3.4 扫描电子显微镜的安装条件
3.5 扫描电子显微镜的验收与维护
3.6小结
第四章:电镜图像演示及答疑
第二部分:能谱分析
第一章、引 言
第二章、EDS系统的工作原理
1.系统概述
2. 吸收和处理过程
3.计数率的考虑
4.谱仪的分辨力
第三章、X 射线的产生和与物质的相互作用
1.萤光产额
2.连续辐射的产生
3.莫塞莱定律X射线定性分析
4.X射线的吸收
5.二次发射(萤光)
第四章、X射线测量
第五章、能量定性分析
1.检出限
2.探测器的效率
3.空间分辨力
3.谱仪分辨力
4. 伪峰(“artifact”peaks)
5.定性分析结果的表示方法
第六章、电子显微镜的操作及其参数的选择
1.加速电压
2.电子源
3.孔径光栏选择
4.镜筒的合轴
5.样品/探测器的几何条件
第七章、定量分析
1.脉冲计数统计误差
2.块状试样的定量分析
第八章、能谱的定性和定量分析的方法与步骤
1.定性分析概述
2.定量分析概述
第九章、能谱失真与杂散幅射
1.谱峰的失真
2.背底的失真
3.杂散辐射第
第十章、能谱的验收与维护
第三部分:实际操作及答疑

培训师介绍:

 
施明哲, 中国赛宝实验室(信产部电子第五研究所)可靠性研究分析中心高级工程师,三十年来主要从事扫描电子显微镜、X射线能量谱仪和波谱仪的操作、应用研究工作。是当前扫描电镜行业广泛知名的专家,在电子光学和真空技术方面有丰富的工作经验,在会议和刊物上发表了十多篇专业水平较高的文章,并参与编写《半导体失效机理及分析》一书。参与的科研工作曾多次获得所一等奖、二等奖;获国家级技术进步二等奖二次,三等奖一次

本课程名称: 扫描电镜 SEM和能谱仪ESAX的使用技巧

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