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扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)的使用技巧

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培训受众:

电镜操作工程师 失效分析工程师 电子工艺工程师 质检和质量管理工程师等有关方面的工程技术人员

课程收益:

1、深入理解扫描电镜和能谱仪的理论知识。
2、熟练操作扫描电镜和能谱仪,掌握其使用技巧。

培训颁发证书:

中国赛宝实验室可靠性研究分析中心证书

课程大纲:

第一部分:扫描电镜
第一章、扫描电镜
第二章、高分辨扫描电子显微镜
第三章、扫描电子显微镜的实践
第四章、电镜图像演示及答疑
第二部分:能谱分析
第一章、引 言
第二章、EDS系统的工作原理
第三章、X 射线的产生和与物质的相互作用
第四章、X射线测量
第五章、能谱定性分析
第六章、电子显微镜的操作及其参数的选择
第七章、定量分析
第八章、能谱的定性和定量分析的方法与步骤
第九章、能谱失真与杂散幅射
第十章、能谱的验收与维护
第三部分:实际操作及答疑

培训师介绍:

 
施明哲
中国赛宝实验室(工信部电子第五研究所)可靠性研究分析中心高级工程师,中国电子显微镜学会电子光学委员会委员。三十年来主要从事扫描电子显微镜、X射线能量谱仪和波谱仪的操作、应用研究工作。是当前扫描电镜行业广泛知名的专家,在电子光学和真空技术方面有丰富的理论知识和实际工作经验,在会议和刊物上发表了二十多篇专业水平较高的文章,并参与编写《半导体失效机理及分析》一书。

本课程名称: 扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)的使用技巧

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