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培训受众:

电镜操作工程师、失效分析工程师、电子工艺工程师、质检和质量管理工程师、电镜和能谱仪的维修及维护工程师等有关方面的工程技术人员

培训颁发证书:

中国赛宝实验室可靠性研究分析中心培训证书

课程大纲:

第一部分：扫描电镜
第一章、扫描电子显微镜基础
第二章、扫描电子显微镜的结构与原理
第三章、扫描电子显微镜的实际操作及一些处理事项
第四章、样品的制备
第五章、电镜的维护与保养
第六章、安装环境的要求及注意事项
第二部分：能谱分析
第一章、引言
第二章、EDS系统的工作原理
第三章、X 射线的产生和与物质的相互作用
第四章、X射线测量(波谱仪)
第五章、能谱定性分析
第六章、电子显微镜的操作及其参数的选择
第七章、定量分析
第八章、能谱的定性和定量分析的方法与步骤
第九章、能谱失真与杂散幅射
第十章、能谱的验收与维护

培训师介绍：

中国赛宝实验室(工信部电子第五研究所)可靠性研究分析中心高级工程师，中国电子显微镜学会电子光学委员会委员。三十年多来主要从事扫描电子显微镜、X射线能量谱仪和波谱仪的操作、应用研究工作。是当前扫描电镜行业知名的专家,在电子光学和真空技术及材料分析方面有丰富的理论知识和实际工作经验，在多种会议和刊物上发表了二十多篇专业水平较高的文章，并参与编写《半导体失效机理及分析》一书。

本课程名称： 扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)的原理与使用研讨班（第十期）

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